Q/S S

　上海天馬微電子有限公司企業(yè)標準 Q/S0001-2007 T TFT 工藝流程、材料、設(shè)備、生產(chǎn)常用中英文標準名稱

　版號：1.0 總頁數(shù)：1 制定部門：制造部生效日期：2007 年 4 月 28 日 擬制：方永學(xué) 2007-4-3 審核：向傳義 2007-4-3 標準化：吳乃亮 2007-4-25 會簽：顏建軍朱希玲 2007-4-20 蔡明宏 2007-4-24 凌志華 2007-4-3 批準：安德浩 2007-4-24 2007- -0 04 4 發(fā) 布 2007- -0 04 4 實施 上海 天馬微 電子有限公司 發(fā)布

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　一．T TFT 工藝流程中英文標準名稱

　 ArrayProcessFlow

　陣 列段工 藝流程

　Input

　投料

　Unpacking 拆包裝 Initialclean 預(yù)備清洗 Particlecount 塵埃粒子測試 Gate

　柵電極層

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 Gate（Mo/Alalloy)Filmdepo 柵電極成膜 RSmeter 電阻測量 MacroInspection 宏觀檢查 CleanbeforePR 涂膠前清洗 Prebake 預(yù)烘 PRCoating 光刻膠涂布 PRvacuumdry(VCD) 光刻膠低壓干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 TitlerExpose/EdgeExpose 打標/邊緣曝光 Develop 顯影 PRhardbake 堅膜 ADI 顯影后自動光學(xué)檢查 Mic/MacInspection 宏微觀檢查 CDafterdevelop 顯影后關(guān)鍵尺寸檢查 Totalpitch 長寸測量 GateWetetch 柵電極濕刻 Contactangle 接觸角測量 PRstrip 光刻膠剝離 CDafteretch 刻蝕后關(guān)鍵尺寸測量 AEI 刻蝕后自動光學(xué)檢查 Micro/MacroInspection 宏微觀檢查 LaserRepair 激光修補 e Active 層

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 Activefilmdepo Active 成膜 AOI 自動光學(xué)檢查 MacroInspection 宏觀檢查 ThicknessMeasurement 厚度測量 CleanbeforePR 涂膠前清洗 Prebake 預(yù)烘 PRCoating 光刻膠涂布 PRvacuumdry 光刻膠低壓干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 Develop 顯影 PRhardbake 堅膜

　ADI 顯影后自動光學(xué)檢查 Mic/MacInspection 宏微觀檢查 ActivefilmDryetch&Ashing Active 膜干刻與灰化 ThicknessMeasurement 厚度測量 PRstrip 光刻膠剝離 AEI 刻蝕后自動光學(xué)檢查 Mic/MacroInspection 宏微觀檢查 S/D

　源/ / 漏電極層

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 S/DMofilmdepo 源/漏電極成膜 RSmeter 電阻測量 MACROInspection 宏觀檢查 CleanbeforePR 涂膠前清洗 Prebake 預(yù)烘 PRCoating 光刻膠涂布 PRvacuumdry 光刻膠低壓干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 Edgeexpose 邊緣曝光 Develop 顯影 PRhardbake 堅膜 ADI 顯影后自動光學(xué)檢查 MIC/MACInspection 宏微觀檢查 CDafterdevelop 顯影后關(guān)鍵尺寸檢查 Hardbakebyoven 烘爐堅膜 S/DMoWetetch 源電極/漏電極濕刻 n+a-SiDryetch n+高摻雜膜干刻 PRstrip 光刻膠剝離 ThicknessMeasurement 厚度測量 CDafteretch 刻蝕后關(guān)鍵尺寸測量 AEI 刻蝕后自動光學(xué)檢查 Micro/MacroInspection 宏微觀檢查 CleanbeforeO/Stest 短路/開路測試前清洗 Open/ShortTest 短路/開路測試 Passivation

　保護層

　Cleanbeforedepo 成膜前清洗 Pass"nfilmdepo 保護膜成膜 AOI 自動光學(xué)檢查 MACROInspection 宏觀檢查 ThicknessMeasurement 厚度測量 CleanbeforePR 涂膠前清洗 Prebake 預(yù)烘 PRCoating 光刻膠涂布 PRvacuumdry 光刻膠低壓干燥 PRsoftbake 前烘

　Expose 曝光 Edgeexpose 邊緣曝光 Develop 顯影 PRhardbake 堅膜 ADI 顯影后自動光學(xué)檢查 Micro/MacroInspection 宏微觀檢查 SinXDryetch&ASHING 氮化硅干刻與灰化 PRstrip 光刻膠剝離 AEI 刻蝕后自動光學(xué)檢查 Micro/MacroInspection 宏微觀檢查 ITO

　O ITO 層

　CleanbeforePR 成膜前清洗 a-ITOfilmdepo ITO 成膜 RSmeter 電阻測試 Anneal 煺火 MacroInspection 宏觀檢查 CleanbeforePR 涂膠前清洗 Prebake 預(yù)烘 PRCoating 光刻膠涂布 PRvacuumdry 光刻膠低壓干燥 PRsoftbake 前烘 Expose 曝光 Develop 顯影 PRhardbake 堅膜 ADI 顯影后自動光學(xué)檢查 Micro/MacroInspection 宏微觀檢查 ITOfilmetch ITO 膜濕刻 PRstrip 光刻膠剝離 AEI 刻蝕后自動光學(xué)檢查 Micro/MacroInspection 宏微觀檢查 FinalE/T

　最終電測

　Anneal 煺火 Arraytest 陣列測試 Arrayrepair 陣列修補 TEGtest TEG 測試 Sort 分級

　CellProcessflow

　制盒段工藝流程

　CFInput

　彩膜投料

　CFInitialClean 彩膜預(yù)備清洗 CFAOI 彩膜自動光學(xué)檢查 CFSort 彩膜分級 PI

　配向膜

　CleanbeforePI 配向膜涂布前清洗 PIPrint 配向膜涂布 Pre-cure 預(yù)固化 PIInspection 配向膜檢查 PIThickness?Measurement 配向膜厚度測量

　Main-cure 固化 PIrework 配向膜返工 ODF

　CF&TFTMatching CF&TFT 匹配 Rubbing 配向摩擦 RubbingInspection 摩擦檢查 Loader&Unloader 上料機/下料機 Buffer 緩沖器 CSTBuffer 工裝欄緩沖器 Rotation/CoolingUnit 旋轉(zhuǎn)/冷卻單元 TurnAlignUnit 旋轉(zhuǎn)/對位單元 TurnOverUnit 翻轉(zhuǎn)單元 AfterRubbingCleaner 摩擦后清洗 SpacerSpray 襯墊球散布 SpacerCounter 襯墊球計數(shù) Spacerrework 襯墊球返工 SpacerCure 襯墊球附著固化 ShortDispense 導(dǎo)電膠涂布 SealantDispense 邊框膠涂布 SealInspection 邊框膠檢查 LCDispense 液晶滴下 VacuumAssembly 真空貼合 UVCure 紫外線固化 Mis-alignmentcheck 錯位檢查 SealOven 邊框膠熱固化 EyeInspection 目視檢查 CellgapMeasurement 盒厚測試 Cutting

　切割

　1/4(1/6)SheetCutting, 1/4(1/6)切割 StickCutting, 切條 CellCutting 切粒 VisualTest Visual 測試 ECP

　EdgeGrind 磨邊 Dippingclean 浸泡式清洗 CleanbeforePol 貼片前清洗 PolAttach 貼片 PolInspection 貼片檢查 Polrework 貼片返工 AutoClave

　AutoClave 消泡 LaserTrimmer

　LaserTrimmer 激光切線 Test

　測試

　GrossTest 終檢 Repair 修補 Binsorter 分級 OQCTest 出貨檢查 Store 貨棧

　 ModuleProcess Flow

　模塊段工藝流程

　COG

　Padcleaning 端子清洗 ICBonding IC 邦定 MicroscopeInspection?AOI 鏡檢?自動光學(xué)檢查 Adhesivetest 粘接力測試 FOG

　ACFAttaching ACF 粘貼 FOGBonding FOG 邦定 MicroscopeInspection 鏡檢 Peelingstrengthtest 拉力測試 ETtest1 電測 1 ICorFPCRepair 修補 UVgluesealing 封膠 FPCreinforcement 補強 UVgluecuring UV 膠固化 Assembly

　組裝

　ETtest2 電測 2 anti-ultraviolettapeattaching 遮光膠帶粘貼 protectedtapeattaching 保護膠帶粘貼 Backlightassembly 背光源組裝 Backlightsoldering 背光源焊接 Touchpanelassembly 觸摸屏組裝 FinalETtest 最終電測 Rework 返工 Aging 老化 QCtest QC 檢驗 Codeprinting 噴碼 Packing 包裝 OQCTest 出貨檢驗 Finishedgoodshipment 合格品出貨

　CIMname

　集成控制 系統(tǒng) 名稱

　CIM

　計 算機集成制造系統(tǒng)

　CIMSystem 計算機集成制造系統(tǒng) ManufacturingExecutionSystem(MES) 制造執(zhí)行系統(tǒng)（MES）

　PreventiveMaintenanceSystem(PMS) 設(shè)備預(yù)防保養(yǎng)系統(tǒng)（PMS）

　StatisticalProcessControl(SPC) 統(tǒng)計過程管理（SPC）

　EquipmentAutomationProgram(EAP) 設(shè)備自動化（EAP）

　Report 報表 EngineeringDataAnalysis(EDA) 工程數(shù)據(jù)分析（EDA）

　FinishedGoodManagementSystem(FGMS) 成品管理系統(tǒng)（FGMS）

　Product 產(chǎn)品 Glass 玻璃基板 Panel 面板 ProcessFlow 工藝流程 Operation 操作

　EDC 工程數(shù)據(jù)收集 Equipment 設(shè)備 Chamber 腔體 Unit 單體 SubUnit 副單體 Port 端口 OIC(OperatorInterfaceClient) 操作者界面 EDB 工程數(shù)據(jù)庫 FGMS 成品管理系統(tǒng) Dispatcher 派貨 Create 建立 Start 下線 Scrap 報廢 Unscrap 取消保廢 Complete 完成 Ship 出貨 Unship 取消出貨 Receive 收料 TrackIn 入賬 TrackOut 出賬 Wait 等待 Hold 滯留 Release 釋放 Rework 返工 Vehicle 搬運車 Robot 機械手 AGV(AutomaticGuidedVehicle) 自動搬運車 MGV(ManualGuidedVehicle) 人工搬運車 Cleanlifter 凈化電梯 LIM(LinearInductionMotor)Carrier 線性感應(yīng)馬達傳送載具 OHS(OverheadHandlingSystem) 天車搬送系統(tǒng) Stocker(cleandepot) 工裝籃存放架 Battery 電池 Bay 作業(yè)區(qū) Inter-bay 作業(yè)區(qū)和作業(yè)區(qū)之間 Intra-bay 作業(yè)區(qū)之內(nèi) Bumper 減震緩沖器 Charger 充電器 Controller 控制器 Conveyor 傳送帶 Crane 吊車（在 Stocker 內(nèi)）

　FFU(FanFilterUnit) 風(fēng)扇過濾器

　Host 主機 I/O(Input/Output) 輸入/輸出 IR(Infra-Red) 紅外線 IRIF(Infra-RedInterface) 紅外接口 Load 上料 Unload 下料 Magnetictape 磁條(AGV 路徑所使用的磁條) Retrieve 檢索 RTM(RotaryTransferMachine) 旋轉(zhuǎn)傳送機構(gòu) SCARAarm AGV 傳送臂 Reset 重新設(shè)定 Transportation 傳輸 Recipe 工藝參數(shù)的組合 Stockout 將工裝籃取出貨棧 Request 要求,請求 Transfer 傳送,運送 Instruction 命令,指令 Select 選擇 Cancel 取消 Operation 作業(yè),操作 Support 支援,支持 Process 工藝 Start 開始 Batch 批量 Lot 批(指生產(chǎn)線的在制品或產(chǎn)品控制單位) ID(Identity) 識別碼(如 LotIDorChipID) Sheet 片(Array 區(qū)玻璃基版計數(shù)單位) Inspection 檢驗 Defect 缺陷 Hold 滯留 Release 釋放 Equipment 設(shè)備（簡稱為 EQP）

　Tool 工具,機臺 WIP(WorkInProcess) 在制品（工藝在制品）

　Maintenance 維修保養(yǎng) Cassette 工裝籃(陣列段),卡匣(制盒段及模塊段) Empty 空的 Reserve 預(yù)備 Report 報告 Rework 返工 Logon 登錄，入系統(tǒng)

　Logoff 注銷登錄，離開系統(tǒng) Note 批注 Unpackingline 拆包線 Unpacker 拆包機 Glassconveyor 玻璃傳送帶 InitialCleaner 預(yù)清洗 Unloader 下料機 CassetteManualGuideVehicle(MGV) 工裝籃人工搬運車 ArrayCassette Array 工裝籃 ODFCassette ODF 工裝籃 AutomatedMaterialHandlingSystem(AMHS) 自動物料搬運系統(tǒng) CleanStocker(STK) 潔凈工裝籃存放架（STK）

　OverheadHandlingSystem(OHS) 天車搬送系統(tǒng)（OHS）

　MaterialControlSystem(MCS) 物料控制系統(tǒng)（MCS）

　CleanRobot 潔凈機械手 Loader/Unloader 上/下料機 Sorter 分片機 二．T TFT 材料中英文標準名稱

　類 型? ? Type

　Materialsname

　材料名稱

　玻璃? ? Glass

　Glass 玻璃基板 Colorfilter 彩色濾光膜 Bareglass 白玻璃基板 LCDPanel 液晶面板 靶 材? ? Target

　AlNd/AlTarget 鋁釹/鋁靶材 MoNb/MoTarget 鉬鈮/鉬靶材 ITOTarget ITO 靶材 化學(xué)液體? ? Chemical

　AlEtchant Al 蝕刻液 ITOEtchant ITO 蝕刻液 HNO3 硝酸 CH3COOH 乙酸 Developer 顯影液 Stripper 剝離液 MEA 單乙醇胺 PhotoResist 光刻膠 OrganicPhotoResist 有機膜用光刻膠 Thinner 稀釋劑 NMP N-甲基-2-吡咯烷酮 HF 氫氟酸 Acetone 丙酮 IPA 異丙醇

　Ethanol 酒精 輔 助器材? ? Submaterial

　PhotoMask 光罩 APRPlate APR 版 RubbingCloth 摩擦絨布 AdhesiveTape 雙面膠布 Probeframeforarraytester 陣列電測架 E/TFrame 電測用探測架 CellETProbeUnit 屏電測用探測頭 Open/Shorttesterandprober 開路、短路電測用探測頭 TeflonTape 特氟龍帶 Siliconrubber 硅膠皮 WiperTape 無塵卷布 高純氣體? ? High purity gas

　NF3 三氟化氮 SiH4 硅烷 SF6 六氟化硫 NH3 氨氣 Cl2 氯氣 HCL 氯化氫 CHF3 三氟甲烷 PH3 磷烷 CF4 四氟甲烷 N2 氮氣 O2 氧氣 H2 氫氣 Ar 氬氣 He 氦氣 液晶? ? LC LC 液晶材料 膠 膜? ? Film

　Polarizer 偏光片 Diffuser 散光膜 涂料

　D D ope

　? ? Paint

　PI 聚酰亞胺 樹 脂? ? Resin

　Sealant 邊框膠 UVglue UV 膠 ACF 各向異性導(dǎo)電膜 ConductiveSpacer 導(dǎo)電襯墊球 SpacerusedinSealant 邊框膠內(nèi)襯墊球 SpacerusedinCell（White）

　盒內(nèi)襯墊球(白）

　SpacerusedinCell（Black）

　盒內(nèi)襯墊球(黑）

　元器件

　Parts

　BackLightUnit 背光源 Integratedcircuit/DriverIC 集成電路/驅(qū)動 IC PCB 印刷電路板

　FPC 柔性印刷線路板 ModuleFrame 模塊外框 TouchPanel/Touchfilm 觸摸屏/觸摸膜 RCL 阻容器件 焊 接材料? ? Soldering? ? material

　FLUX 助焊劑 SOLDERCREAM 焊錫/焊接劑 三．T TFT 設(shè)備中英文標準名稱

　 E En ng gl li is sh hn na am me e

　中文名稱

　PHOTO

　曝光

　Exposer 曝光機 CoaterDeveloper 陳列黃光制程清洗機-涂布機-顯影機 longsizemea測長儀和線寬測量儀

　suringandcriticaldimensionmeasuringmultipleequipment Tit打標機和邊緣曝光復(fù)合機

　ler&EdgeExposer EdgeExposer 邊緣曝光機 AFM 原子力顯微鏡 FIB 聚焦離子束系統(tǒng) FE-SEM 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 UVMeter UV 照度計 EXCIMERUV 準分子紫外清洗機 I 除靜電棒

　onizerBar FireExtinguisher 滅火器 PhotoIonizer 軟 X 射線靜電消除器 PVD&WET

　濺射& & 濕式

　PVD?(Multi-chamber磁控濺射成膜機

　typesputteringsystem) Particlecounter 塵埃粒子測量儀 UltrasonicCleaner 超聲波清洗機 St脫膜機

　ripper ContactAngleAnalyzer 接觸角測量儀 RSMeter(4pointProbe) 四探針儀 CassetteC工裝籃清洗機

　leaner InitialCleaner 預(yù)備清洗機 PreCVDcleaner 成膜前清洗機 HFCleanerbeforeS/D S/D 成膜前帶 HF 清洗機 Liqu液體內(nèi)塵埃粒子測量儀

　idParticleCounter CCSS 中央化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng) AnnealOven 退火爐 HardBakeOven 后烘爐 FilmTester 薄膜附著力測試儀 Et刻蝕液濃度管理系統(tǒng)

　chantConcentrationManagementSystem DMS 顯影液濃度管理系統(tǒng) DRS 顯影液溶劑回收系統(tǒng) RMS 剝離液濃度管理系統(tǒng) WetEtcher 濕刻機 4.54.5G 宏觀檢查機

　G-MacroReviewSystem 4.5G-Mic/MacReviewSystem 4.5G 宏觀、微觀檢查機 RGA(Residual殘余氣體分析儀

　GasAnalyzer) PECVD

　化學(xué)氣相沉積

　HotN2TransferSystem 熱 N2 供應(yīng)系統(tǒng) PECVD 等離子增強化學(xué)氣相淀積設(shè)備 SpecialGasSupply&Mo特種氣體供應(yīng)和監(jiān)視管理系統(tǒng)

　nitorSystem TemperatureRecorder 溫度記錄儀 GasScrubberforPECVD PECVD 用尾氣處理裝置 FullAu平板顯示用全自動橢圓偏振光譜儀

　tomaticSpectroscopicEllipsometerforFlatPanelDisplay Clea潔凈室起重機設(shè)備

　nCrane SpectroscopeReflectometer 平板顯示用全自動分光反射光譜儀 HeLeakDetector 氦氣檢漏儀 DRY

　干刻

　DryPumpfor化學(xué)氣相沉積設(shè)備用真空泵

　CVD DryPumpforPVD 物理氣相沉積設(shè)備用真空泵 EPDforDryEtching 干刻終點偵測器 DrypumpforDryEtching 干刻機設(shè)備用真空泵 Dry干刻灰化一體機

　Etching/AshingSystem ProfilerSystem 段差量測機 ChillerforDryEtching 干刻機輔助設(shè)備冷卻器 L 干刻用廢氣處理設(shè)備

　ocalScrubberSystemforDryEtching CELL

　制盒

　RubbingLine 摩擦線 BeforePIcleanPI 前清洗機

　er CassetteBF 工裝籃緩沖器 PIPrinter PI 涂布機 Pre-Cure 預(yù)固化爐 Main-Cure 主固化爐 Loader/Unloader 上下料機 APAPR 板清洗機

　Rcleaner RubbingInspection 摩擦檢查機 AfterRubbingCleaner 摩擦后清洗機 ODFSystem ODF 相關(guān)設(shè)備 Se邊框膠涂布機

　alDispenser ShortDispenser 導(dǎo)電膠涂布機 SealDe-bubblingmachine 邊框膠脫泡機 UVcure 紫外線固化機 Sp襯墊球固化爐

　acerCureOven Cooling/RotationUnit 冷卻/旋轉(zhuǎn)裝置 SealCureOven 邊框膠固化爐 LCdispenser 液晶滴下機

　LCde-bubbling 液晶脫泡機 VacuumAssembly 真空貼合系統(tǒng) Mis-alignChecker 對位檢查機 VisualInspec目視檢查機

　tion ODFInlinetransferandlinecontrolblock ODF 聯(lián)線傳輸和軟件控制系統(tǒng) Loader(3port) 上料機 Un下料機

　loader(3port) CassetteBuffer 卡匣緩沖器 TurnAlignBuffer 旋轉(zhuǎn)對位緩沖器 Pairing/NGBuf配對/不良制品緩沖器

　fer SpacerNGBuffer 襯墊球散布不良制品緩沖器 TurnOverAlign 翻轉(zhuǎn)對位器 UVMaskstock UVMask 存儲柜 BufferafterUVc紫外線固化后緩沖器

　ure CoolingBuffer 冷卻緩沖器 SpacerUSCleaner 襯墊球超聲波清洗機 SpacerRemover(USC) 襯墊球聚團去除裝置（超聲波清洗機）

　USClea邊框膠涂布后超聲波清洗機

　neraftersealantdispensing USCleaneraftershortdispensing 點膠后超聲波清洗機 M 主 PLC

　asterPLC CIMPC CIMPC SealInspection 邊框涂布檢查機 CellGapInspection 盒厚檢查機 DrySpacerSp干式散布機 襯墊球計數(shù)器

　ray&Spacercount AutoClave 偏光片貼附后加壓消泡機 EdgeGrinder 液晶面板磨邊機 LCDPanelcleaningandP液晶面板清洗和偏光板貼附機系統(tǒng)

　olarizerattachsystem PanelCleaner 面板清洗機（用于液晶面板清洗和偏光板貼附機系統(tǒng)）

　PolarizerAttachMachine 偏光板貼附機（用于液晶面板清洗和偏光板貼附機系統(tǒng)）

　L 液晶面板偏光片返工機

　CDPanelPolarizerReworkMachine CellCassette(3"-10.4") 3"-10.4"Cell 卡匣 Sing單刀頭切割機

　leheadscriber LCDglassin-lineScriber 液晶面板在線切割機 MultiheadScriber 多刀頭切割機 MODULE

　模塊

　COGb自動 COG 邦定機

　ondingmachine COGSemi-automaticBondingMachine 半自動 COG 邦定機 Agingtestsy老化測試系統(tǒng)

　stem SignalgeneratorforLCDInspection LCD 檢查用信號發(fā)生器 AutoOpticalInspectio自動光學(xué)檢測儀

　n AirParticleCounter 空氣塵埃粒子測量儀 Backlighttester 背光源色度亮度測量儀 Projector 投影儀 Microscope 顯微鏡 Io離子風(fēng)扇

　nizerblower Surfaceresistancetestkit（點檢）表面電阻測量儀 ChargedPlateMoni平面帶電測試儀

　tor Staticelectricityvoltagetesting 靜電電壓測量儀 TEST

　測試

　ADI-AOI 顯影后檢測 AEI-AOI 刻蝕后檢測 CF-AOI 彩色濾光片檢測 A 陣列電測機

　rrayTester Open/Shorttesterandprober 開路/短路檢測和探針系統(tǒng) ARRAYO/Sprobe 開路/短路探針系統(tǒng) TEGProbTEG 探針系統(tǒng)

　er TEGTester TEG 測試系統(tǒng) ProbeUnitforTEG TEG 測試用探針系統(tǒng) Arrayrepair 激光修補系統(tǒng) ArrayProbeframe 陣列電測架 Vis目測用探針系統(tǒng)

　ualtestprobeunit ETProbeunit 2 英寸電測用探針系統(tǒng) Microscope 顯微鏡（Panel）

　Microscopeandlaser帶激光的顯微鏡

　system BarcodeReader 條形碼閱讀器 Fixed2DCodeReader 2 維讀碼器系統(tǒng)(固定類型) Portable2DCodeReade2 維讀碼器系統(tǒng)(可移動類型)

　r PI+Macroinspectionsystem PI+Macro 檢測系統(tǒng) CellGapMeasureSystem 盒厚測量系統(tǒng) LaserTrimm激光切線系統(tǒng)

　er CellLaserRepair 液晶盒激光修補系統(tǒng) Oscilloscope 示波器 Manualprobe 手動探針系統(tǒng) PrecisionParameTFT 參數(shù)分析儀

　terAnalyzer R&D

　研發(fā)

　ProductOpticalQualityMeasurementSystem 產(chǎn)品光學(xué)質(zhì)量檢測系統(tǒng) Optica光學(xué)特性量測設(shè)備

　lParametersMeasurementSystem Circuitdrawing//Orcad 電路圖編輯器 P-spicP-spice 電路仿真器

　eAnalogSimulation PCBArtwork PCB 線路圖編輯器 3DMechanicalDesignTool 3D 機械設(shè)計工具 2Dstru2D 結(jié)構(gòu)設(shè)計工具

　ctureDesignTool PatternGenerator 測試圖形發(fā)生器 ResistanceAttenuator 電阻衰減器 illu亮度色度計

　minanceColorimeter Spectrophotometer 亮度色度光譜儀 ColorAnalyzer 色彩分析儀 R,L,CMeR,L,C 測試儀

　asurement ESDGun(EMI/EMS)table 靜電槍臺 UVTESTchamber 紫外線測試箱 Sealdispenser 邊框膠涂布機

　threeaxisMeasurementStage 三軸量測平臺 Pre-tiltangle&cellgapmeasureme傾斜角盒厚量測儀

　ntsystem LCresistivitymeter 液晶電阻率測量儀 Oscilloscope(Analog) 模擬示波器 Thermo-hy恒溫恒濕柜

　grostat ThermalShockChamber 冷熱沖擊艙 ESDGun(EMI/EMS) 靜電槍 Liquidcrystali灌晶機

　njectionmachine Plasmacleaningmachine 等離子清洗機 SimulationsoftwareoLCD 光學(xué)特性模擬軟件

　fLCDOpticalparameters Layouteditorformask 版圖設(shè)計軟件 CIM

　集成控制

　CIMSystem?-.Man計算機集成制造系統(tǒng)?-.制造執(zhí)行系統(tǒng)?-.機臺預(yù)防保養(yǎng)系統(tǒng)?-.統(tǒng)計制程管制?-.設(shè)備自動化?-.報表系統(tǒng)?-.工程數(shù)據(jù)分析?-.產(chǎn)成品管理系統(tǒng)?-.工程數(shù)據(jù)庫

　ufacturingExecutionSystem(MES)?-.PreventiveMaintenanceSy

　stem(PMS)?-.StatisticalProcessControl(SPC)?-.EquipmentAu

　tomationProgram(EAP)?-.ReportSystem?-.EngineeringDataAna

　lysis(EDA)?-.FinishedGoodsManagementSystem(FGMS)?-.Engin

　eeringDataBase(EDB) OperatorInterfaceClient(OIC) 操作者界面 FABMonit工廠監(jiān)控系統(tǒng)

　oringClient(FMC) Dispatcher(DSP) 任務(wù)分配系統(tǒng) FaultDetectionandClassif缺陷檢查和分類系統(tǒng)

　ication(FDC) AlarmManagementSystem(AMS) 機臺報警系統(tǒng) RealTimeAnalysis/缺陷管理的實時監(jiān)控/分析系統(tǒng)

　MonitoringSystem(RTAMS) SystemManagementSystem(SMS) 系統(tǒng)管理系統(tǒng) AMHS

　物料搬運

　Unpac拆包線?-.拆包機?-.玻璃傳送帶?-.預(yù)清洗?-.下料機

　kingline?-.Unpacker?-.Glassconveyor?-.InitialCleaner?-.U

　nloader CassetteManualGuideVehicle(MGV) 工裝籃人工引導(dǎo)車 ArrayCassette Array 工裝籃 ODFCODF 工裝籃

　assette AutomatedMaterialHandlingSystem(AMHS)?-.CleanSto自動物料搬運系統(tǒng)?-.潔凈堆料機（STK）?-.天車搬送系統(tǒng)（OHS）?-.物料控制系統(tǒng)（MCS）

　cker(STK)?-.OverheadHandlingSystem(OHS)?-.MaterialContro

　lSystem(MCS) CleanRobot 潔凈機械手 Loader/Unloader 上下料機 Sorter 分片機 CIMServer

　集成控制 系統(tǒng) 服務(wù)器 MESDBServer MES 數(shù)據(jù)服務(wù)器 M MES 應(yīng)用服務(wù)器

　ESAPPServer EDA/EDBServer EDA/EDB 服務(wù)器 FDCServer FDC 服務(wù)器 PMSServer PMS 服務(wù)器 YMSServer YMS 服務(wù)器 File文件服務(wù)器

　Server CentralizedBackup/RecoveryServer 中央備份服務(wù)器 DevelopmentServer 開發(fā)服務(wù)器

　TestingServer 測試服務(wù)器 Storage/DiskArray 磁盤陣列 SANSwitch/StorageLink SAN 交換機 Tape磁帶庫

　Library Switch 網(wǎng)絡(luò)交換機 Router 網(wǎng)絡(luò)路由器 Firewall 網(wǎng)路防火墻 MessageBus 信息總線 TIBCORendezvous TIBCO 消息集聚器 Dat數(shù)據(jù)保護者

　aProtector Facility

　工程

　ExhaustFan(FRP) 排氣風(fēng)機（玻璃鋼離心式）

　UPWsystem 純水超純水設(shè)備 Autocontrolsystem 自動控制系統(tǒng) CDAs壓縮空氣系統(tǒng)

　ystem Bulkgassupplysystem 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng) ExhaustFan 排氣風(fēng)機 FanFilterUnit 送風(fēng)過濾系統(tǒng) Gasandli氣體和液體測漏系統(tǒng)

　quidleakdetectionsystem Dieseloilgenerator 柴油發(fā)電機系統(tǒng) VOCscrubber 有機物蒸氣洗凈機 Pla工廠真空系統(tǒng)

　ntVacuumpump cleaningvacuumpump 清潔真空系統(tǒng) wastewatermonitorsystem 廢水檢測系統(tǒng) ve空氣煙感探測分析系統(tǒng)

　sdasystem chiller 冷水機組 coolingtower 冷卻塔 HVACPUMP 空調(diào)水泵 heatenergysupplysys集中供熱系統(tǒng)

　tem LPGsystem LPG 站系統(tǒng) PCWsystem PCW 系統(tǒng) 35KVtransformer 35KV 變壓器 Telephonesystem 電話系統(tǒng) CATV有線電視系統(tǒng)

　system broadcastingsystem 廣播系統(tǒng) firealarmsystem 火警系統(tǒng) WWT 廢水處理系統(tǒng) 35KVswitchdev35KV 開關(guān)裝置

　ice Mvswitchgears,castcoiltransformers,unitsubstations,p中壓變配電系統(tǒng)

　owerscada Security&CCTVsystem 安保和閉路電視系統(tǒng) Firefightingsystem 消防系統(tǒng) Analysis

　room

　分析室

　Singlehea單刀頭切割機

　dscriber ContactAngle 接觸角測量儀 Eyewash 洗眼臺 Wetstation 帶通風(fēng)櫥的中央實驗臺 四．T TFT 生產(chǎn)常用中英文名稱

　 Englishname

　中文名稱

　General

　一般專有名詞

　LCD(LiquidCrystalDisplay) 液晶顯示器 Glass,substrateorglasssubstrate 玻璃基版 TFT(ThinFilmTransistor) 薄膜晶體管 Panel 面板 Array 陣列 Cell 液晶盒 Module 模塊 Monitor 監(jiān)視器 Pixel 像素 Computer 電腦 Notebook－PC 筆記本電腦（簡稱為 NB）

　RGB(Red,Green,Blue) 指紅綠藍三基色 PM(PreventiveMaintenance) 預(yù)防保養(yǎng) Quality 品質(zhì) Standard 標準(指作業(yè)標準或質(zhì)量指針) Material 材料 Yield 良率 CIM (ComputerIntegrationManufacturing) 計算機集成制造（指以計算機系統(tǒng)整合制造流程）

　FA(FactoryAutomation) 工廠自動化 Exit 出口 Precaution 注意 Warning 警告 Emergency 緊急 Alarm 警報 CleanRoom

　潔凈 室

　Cleanroom 潔凈室 HEPA(HighEfficientParticulateAir)filter 高效能粒子空氣過濾網(wǎng) Contamination 污染 Temperature(TEMP) 溫度 Humidity 濕度 Pressure 壓力 UPW(Ultra-PureWater) 超純水 DIW(De-IonizedWater) 去離子水 IPA(IsopropylAlcohol) 異丙醇 Stickymat 粘塵墊 Cleanliness 潔凈度 ESD(Electro-staticDischarge) 靜電放電 Laminarflow 層流（流體力學(xué)名詞）

　Turbulentflow 擾流（流體力學(xué)名詞）

　Alcohol 酒精 Acetone 丙酮 Particle 微粒子 Dust 灰塵 Gowningroom 換衣間 Raisedfloor(gratingfloor) 高架地板 Airshower 風(fēng)淋室 Prohibit 禁止 Cleansuit (bunnysuit,dust-freegarment) 無塵服 Glove 手套 Hairnet 網(wǎng)帽 Hood 頭罩 Mask 口罩

　Cleanshoes(dust-freeshoes,boots) 無塵鞋 FactoryAutomation

　工廠 自 動 化

　Vehicle 搬運車 Robot 機械手 AGV(AutomaticGuidedVehicle) 自動搬運車 MGV(ManualGuidedVehicle) 人工搬運車 Cleanlifter 凈化電梯 LIM(LinearInductionMotor)Carrier 線性感應(yīng)馬達傳送載具 OHS(OverheadHandlingSystem) 天車搬送系統(tǒng) Stocker(cleandepot) 工裝籃存放架 Battery 電池 Bay 作業(yè)區(qū) Inter-bay 作業(yè)區(qū)和作業(yè)區(qū)之間 Intra-bay 作業(yè)區(qū)之內(nèi) Bumper 減震緩沖器 Charger 充電器 Controller 控制器 Conveyor 傳送帶 Crane 吊車（在 Stocker 內(nèi)）

　FFU(FanFilterUnit) 風(fēng)扇過濾器 Host 主機 I/O(Input/Output) 輸入/輸出 IR(Infra-Red) 紅外線 IRIF(Infra-RedInterface) 紅外接口 Load 上料 Unload 下料 Magnetictape 磁條(AGV 路徑所使用的磁條) Retrieve 檢索 RTM(RotaryTransferMachine) 旋轉(zhuǎn)傳送機構(gòu) SCARAarm AGV 傳送臂 Reset 重新設(shè)定 Transportation 傳輸 OperationInstruc tion

　生產(chǎn)操作系統(tǒng)

　Recipe 工藝參數(shù)的組合 Stockout 將 Cassette 取出貨棧 Request 要求,請求 Transfer 傳送,運送 Instruction 命令,指令 Select 選擇 Cancel 取消 Operation 作業(yè),操作 Support 支援,支持 Process 工藝 Start 開始

　Comp. 完成（Completion 的縮寫）

　Batch 批量 Lot 批(指生產(chǎn)線的在制品或產(chǎn)品控制單位) ID(Identity) 識別碼(如 LotIDorChipID) Sheet 片(Array 區(qū)玻璃基版計數(shù)單位) Chip 片(Cell 區(qū)玻璃計數(shù)單位) Inspection 檢驗 Defect 缺陷 Production 生產(chǎn) Hold 滯留 Release 釋放 Equipment 設(shè)備（簡稱為 EQP）

　Tool 工具,機臺 WIP(WorkInProcess) 在制品（工藝在制品）

　Maintenance 維修保養(yǎng) Cassette 工裝籃(陣列段),卡夾(制盒段及模塊段) Empty 空的 Reserve 預(yù)備 Report 報告 Scrap 報廢 Rework 返工 Logon 登錄，入系統(tǒng) Logoff 注銷登錄，離開系統(tǒng) Note 批注 Array

　陣列段

　Stepper 步進式曝光機 Backside-Exposure 背面曝光 RIE(Reactiveionetching) 反應(yīng)性離子刻蝕 PE(PlasmaEtch) 等離子刻蝕機 ICP(InductiveCoupledPlasma) 電感偶式等離子刻蝕機 O 3 Asher 臭氧灰化（為去光刻膠機的模塊之一，用來去除工藝的有機殘留）

　CJ 指高壓水洗 MS 指超音波水洗 Heat 加熱 Cool 冷卻 Spec 規(guī)格 Brush 毛刷（清洗機所使用之軟刷）

　DI;DIwater;DeionizedWater 去離子水 UPW 超純水 Vent 破真空，真空環(huán)境下的玻璃送至 LoadLock 閉鎖時，通入氮氣平衡壓力，以防止劇烈的氣壓變化造成破片 Purge 清潔（用 CF 或 NF 系列的氣體通入 CVD 清除器壁累積的硅）

　Rinse 沖洗 Veri-Code 二維碼

　Bar-Code 條形碼 Vacuum 真空 Plasma 等離子 PE(PlasmaEtch) 等離子刻蝕機 Uniformity 均勻性(類似(大-小)/平均值的概念) EtchingRate 刻蝕速率(=刻蝕厚度/時間) Cell

　制盒段

　Detergent 清潔劑 γ-Butyrolactone γ-丁內(nèi)酯,簡稱γ液,用于清除 APR 版上的 PI PS(PhotoSpacer) 光刻膠襯墊料（功能與普通的 Spacer 相同,一般用于大尺寸產(chǎn)品,且可得到較好的 cellgap）

　UVsealant UV 膠（用于兩塊玻璃基板組合時假固定用）

　Polyfron 均壓紙（基板壓合時使用,用于分隔基板,可使壓力均勻分布以及減少雜質(zhì)所造成的損害）

　CDA(CompressedDryAir) 壓縮高壓干燥空氣 Controlbox 電源控制箱 Valve 閥門,控制閥 Breaker 電源開關(guān),繼電器 Cleanbooth 潔凈工作臺 模塊段

　Module

　Chip 芯片 Tape 膠帶 Screw 螺絲 FPC(FlexiblePrintedCable) 柔性印刷線路板 PCB(PrintedCircuitBoard) 印刷電路板 TAB(TapeAutomatedBonding) 自動連帶式貼合 OLB(OuterLeadBonding) 外引腳接合 ILB(InnerLeadBonding) 內(nèi)引腳接合 COG(ChiponGlass) 芯片壓合在玻璃 ACF(AnisotropicConductivefilm)Film) 各向異性導(dǎo)電膜

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